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能量色散型X射線熒光光譜儀

our products

原理·特點(diǎn)


玻爾模型所描述的電子軌道和X射線熒光產(chǎn)生的原理

X射線熒光的產(chǎn)生原理
X射線管發(fā)出X射線照射樣品,樣品中所含的原子被激 發(fā)而產(chǎn)生原子特有的X射線。這種X射線被稱為X射線 熒光。不同的元素波長(zhǎng)(能量)不同。通過檢測(cè)X射 線的波長(zhǎng),能夠進(jìn)行定性分析。X射線熒光的強(qiáng)度與 含量呈函數(shù)關(guān)系,檢測(cè)元素特有的X射線的量值能夠 進(jìn)行定量分析。

滿足不同領(lǐng)域的應(yīng)用
■ 電子·電氣
·RoHS指令、無鹵素等篩選分析
·半導(dǎo)體、存儲(chǔ)裝置、液晶、太陽能電池等的各種薄膜分析
■ 汽車·機(jī)械
· 應(yīng)對(duì)ELV指令的篩選分析
· 各種機(jī)械零部件成分分析及鍍層厚度、涂層附著量的檢測(cè)
■ 鋼鐵·有色金屬
· 原材料、合金、錫焊、貴金屬的主要成分、殘余成分的分析
· 爐渣的組成分析
■ 礦業(yè)
· 選礦工藝的成色鑒別分析
■ 窯業(yè)
· 陶瓷、水泥、玻璃、磚、粘土的分析
■ 石油·石油化學(xué)
· 油中硫的分析
· 潤(rùn)滑油中各種添加元素及混入元素的分析
■ 化學(xué)工業(yè)
·無機(jī)·有機(jī)原料和產(chǎn)品分析
·催化劑、顏料、涂料、橡膠、塑膠的分析
■ 環(huán)境
· 土壤、排水、焚燒灰、過濾、PM2.5等成分分析
■ 醫(yī)藥
· 合成時(shí)的殘留催化劑分析
· 原藥中不純物分析、異物分析
■ 農(nóng)業(yè)·食品
· 土壤、肥料、植物的分析
· 食品的原料分析、添加元素管理、溶入異物的分析
■ 其它
· 考古學(xué)樣品及寶石成分分析
· 玩具·日用品中有害重金屬元素測(cè)定等

 追求高速?高靈敏度?高精度的機(jī)型—EDX-7200
通過高分辨率SDD檢測(cè)器的搭載以及高計(jì)數(shù)率的實(shí)現(xiàn),獲得更高的檢測(cè)效率。
高速 — 計(jì)數(shù)量高達(dá)到30倍 —
搭載高速電路,計(jì)數(shù)量高達(dá)以往型號(hào)(EDX-720)的30倍。通過改良算法和升級(jí)基本性能,縮短了測(cè)定時(shí)間, 進(jìn)一步提高了操作便捷性。

銅合金中的鉛(Pb)的譜圖比較


銅合金中的鉻(Cr)的譜圖比較
實(shí)際樣品的比較

分別用以往型號(hào)(EDX-720)和EDX-7200對(duì)無鉛錫焊中所含的鉛(Pb)進(jìn)行分析,比較其重現(xiàn)性。

測(cè)定時(shí)間與標(biāo)準(zhǔn)偏差(定量值的偏差)的關(guān)系


滿足目標(biāo)分析精度所需的測(cè)定時(shí)間
X射線熒光分析可以通過延長(zhǎng)測(cè)定時(shí)間增加X射線熒光的計(jì)數(shù)來提高精度(重現(xiàn)性)。 搭載高計(jì)數(shù)率SDD檢測(cè)器和高速電路的EDX-7200與以往型號(hào)(EDX-720)相比,能夠在更短的時(shí)間內(nèi)達(dá)到目標(biāo)分 析精度。
高靈敏度 — 檢測(cè)下限提高6倍 —
提高了金屬分析中微量元素的檢測(cè)下限。
金屬中的鉛的檢測(cè)下限基準(zhǔn)(300秒)

※ 檢測(cè)下限值僅為示例,并非保證值。

高分辨率


能量分辨率的比較(樣品:PPS樹脂)
 
與搭載Si(Li)半導(dǎo)體檢測(cè)器的以往型號(hào)(EDX-720)相比, 能量分辨率更勝一籌。
不同元素峰值重疊的影響減少,分析結(jié)果更加可靠。

無需液氮
SDD檢測(cè)器為電子制冷方式,無需液氮冷卻。不僅可以免去繁瑣的液氮補(bǔ)充作業(yè),還可以降低運(yùn)行成本。

檢測(cè)元素范圍

 
? 用EDX-7200進(jìn)行12Mg以下的輕元素分析時(shí),推薦使用真空檢測(cè)單元或者氦氣置換檢測(cè)單元(均為選購(gòu)件)。
? 檢測(cè)下限因樣品基材和共存元素不同而有差異。
? 使用樣品容器分析20Ca以下的輕元素時(shí),由于薄膜吸收的原因,難以達(dá)到上述檢測(cè)下限基準(zhǔn)。

卓越的通用性
從微小樣品到大型樣品,從粉末樣品到液體樣品,靈活應(yīng)對(duì)各類樣品。
可配備進(jìn)行輕元素高靈敏度分析時(shí)所需的真空檢測(cè)單元、氦氣置換檢測(cè)單元以及可實(shí)現(xiàn)自動(dòng)連續(xù)測(cè)定的12位樣品 轉(zhuǎn)臺(tái)(選購(gòu)件)。

4種準(zhǔn)直器以及樣品觀察裝置

ø1、3、5、10mm 四級(jí)自動(dòng)切換
根據(jù)樣品尺寸的不同,照射直徑可進(jìn)行4級(jí)切換。微小異 物分析和不良分析時(shí)采用ø1mm,少量樣品時(shí)采用ø3mm和 ø5mm,可以根據(jù)樣品的形狀選擇適合的照射直徑。


標(biāo)配樣品觀察裝置
通過樣品觀察裝置,可以確認(rèn)X射線的照射位置。適用于 檢測(cè)微小樣品、檢測(cè)由多個(gè)測(cè)樣點(diǎn)組成的樣品、使用微量 樣品容器檢測(cè)等情況。
 
自動(dòng)切換5種一次濾光片

使用一次濾光片降低X射線管產(chǎn)生的特性X射線和連續(xù)X射 線,從而提升檢測(cè)靈敏度,尤其于分析微量元素時(shí)有效。 EDX-7200搭載5種(含OPEN共6種)一次濾光片,可以實(shí) 現(xiàn)軟件操控自動(dòng)切換。
 
 準(zhǔn)直器和一次濾光片自由組合
準(zhǔn)直器和一次濾光片獨(dú)立驅(qū)動(dòng),可自由組合,共6×4種=24種組合可選。 同時(shí),所有組合均可對(duì)應(yīng)FP法進(jìn)行定量分析。
 
真空檢測(cè)單元(選購(gòu)件)
由于輕元素產(chǎn)生的X射線熒光在大氣環(huán)境下易被吸收,所以需要在真空環(huán)境下提高輕元素的檢測(cè)靈敏度。

真空環(huán)境為100時(shí),氦氣置換和大氣環(huán)境下的相對(duì)靈敏度

真空環(huán)境和大氣環(huán)境的分析結(jié)果比較
(樣品:鈉鈣玻璃)

氦氣置換檢測(cè)單元(選購(gòu)件)
對(duì)于無法在真空環(huán)境下進(jìn)行分析的樣品(如液體、會(huì)產(chǎn)生氣體等),可以通過氦氣置換實(shí)現(xiàn)輕元素分析。
升級(jí)了島津特有的氦氣置換系統(tǒng)(日本專利:「特許」No.5962855),且配備可實(shí)現(xiàn)短時(shí)間檢測(cè)并減少氦氣 消耗量的功能。

氦氣置換和大氣環(huán)境下的譜圖比較(EDX-7200/油中硫) 

12位樣品轉(zhuǎn)臺(tái)(選購(gòu)件)

配備樣品轉(zhuǎn)臺(tái)可實(shí)現(xiàn)自動(dòng)連續(xù)測(cè)定。特別是在真空·氦氣 環(huán)境下可實(shí)現(xiàn)高通量,從而顯著提高檢測(cè)效率。

豐富的分析功能
校準(zhǔn)曲線法

校準(zhǔn)曲線法是指通過對(duì)標(biāo)準(zhǔn)樣品的測(cè)定,依據(jù)X射線 熒光強(qiáng)度與標(biāo)準(zhǔn)樣品的含量關(guān)系制作校準(zhǔn)曲線,是對(duì)未知樣品進(jìn)行定量的方法。 校準(zhǔn)曲線法需要選擇與未知樣品類型相近的標(biāo)準(zhǔn)樣品 且需要制作各元素的校準(zhǔn)曲線,從而實(shí)現(xiàn)準(zhǔn)確度高的分析。可以進(jìn)行吸收/激發(fā)校正、重疊校正等各種共存元素校正。

FP法
根據(jù)理論計(jì)算而得出X射線強(qiáng)度的定量方法。對(duì)于難 以找到標(biāo)準(zhǔn)樣品對(duì)應(yīng)的未知樣品,F(xiàn)P法是有效的定量 分析方法。

配置自動(dòng)設(shè)定平衡功能
樣品主要成分為C,H,O等時(shí),F(xiàn)P法需要進(jìn)行平衡(殘 余成分)設(shè)定。如根據(jù)特征形狀判定需要平衡設(shè)定時(shí), 軟件將自動(dòng)進(jìn)行。

背景FP法

背景FP法指在僅計(jì)算X射線熒光(凈峰)強(qiáng)度的傳統(tǒng)FP法基 礎(chǔ)上,增加計(jì)算散射X射線(背景)強(qiáng)度的方法。(日本 專利:「特許」No.5975181)
在提升少量有機(jī)物樣品的定量準(zhǔn)確度、異型鍍層樣品的膜厚 測(cè)定、有機(jī)膜的膜厚測(cè)定方面效果顯著。

薄膜FP法
標(biāo)配薄膜FP法??蓹z測(cè)多層膜的膜厚,同時(shí)對(duì)膜的組成進(jìn)行 定量分析。薄膜FP法可對(duì)基板等基材、鍍層結(jié)果、元素信息 進(jìn)行設(shè)定。

匹配功能
匹配功能是指將某種樣品的分析結(jié)果與所保存的譜庫 比較,按由高到低的順序自動(dòng)排列出接近的物質(zhì)。
譜庫分為含量數(shù)據(jù)和強(qiáng)度數(shù)據(jù)兩類,用戶均可登錄。 同時(shí),含量數(shù)據(jù)更可手動(dòng)直接錄入。

匹配結(jié)果

具有設(shè)計(jì)感的外觀
460mm寬的緊湊機(jī)身,配置大型樣品室
460mm寬的緊湊機(jī)身,與以往型號(hào)(EDX-720)相比,寬度減少了20%。
雖然機(jī)身緊湊,但卻擁有可放置300(W)×275(D)×約100(H)mm樣品(相當(dāng)于A4大?。┑拇笮蜆悠肥?。



識(shí)別度高的LED顯示燈

產(chǎn)生X射線時(shí),分析儀器后面的X射線顯示燈和前面的X-RAYS ON顯示燈會(huì)點(diǎn)亮。分析時(shí)X射線顯示燈的兩側(cè)亮起 藍(lán)燈。操作人員不在分析現(xiàn)場(chǎng)也可對(duì)分析儀器的狀態(tài)一目了然。

“初次見面”也可輕松上手的軟件PCEDX Navi

為了使X射線熒光分析貼近每一個(gè)實(shí)驗(yàn)室,深入淺出的軟件PCEDX Navi應(yīng)運(yùn)而生。 僅憑直覺即可操作的簡(jiǎn)潔界面,無論是初學(xué)者還是專家,都可以體驗(yàn)到便捷的操作環(huán)境。

簡(jiǎn)潔的界面
在一個(gè)界面內(nèi)可以同時(shí)顯示樣品圖像、選擇分析條件、輸入樣品名稱。

在測(cè)定界面上可以直接切換準(zhǔn)直器
可以一邊觀察樣品圖像,一邊切換準(zhǔn)直器直徑。 同時(shí),選定的直徑用黃色圓圈表示。

自動(dòng)保存樣品圖像
測(cè)定開始時(shí)自動(dòng)讀取樣品圖像,與數(shù)據(jù)文件夾關(guān)聯(lián)保存。



以用戶為中心 服務(wù)至上為準(zhǔn)則
Customer-centric, service-oriented principle
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